[发明专利]缺陷检查装置

摘要

本发明提供一种缺陷检查装置。缺陷检查装置(1)构成为具有沿一轴方向进行扫描而取得被检查体的表面图像的照相机(25)，照相机(25)的输出被交接给控制部(3)的图像取入电路(31)。图像取入电路(31)在接收到摄像开始触发的位置、获取开始像素位置和获取结束像素位置划分获取由照相机(25)取入的图像数据，从而仅生成缺陷区域的图像，并进行图像处理等。根据本缺陷检查装置，能够从基板等被检查体尽早地提取出必要的信息，迅速地实施检查。

主权项

1.一种缺陷检查装置，其特征在于，所述缺陷检查装置具有：摄像装置，其取入图像数据作为被检查体的光学图像信息；图像压缩部，其将由前述摄像装置取入的图像数据作为原始图像而对其进行压缩，来生成压缩图像数据；缺陷提取部，其从所述压缩图像数据中提取含有所述被检查体的缺陷的缺陷区域；以及区域指定部，其指定由所述缺陷提取部提取出的所述缺陷区域，所述缺陷检查装置对通过所述区域指定部指定而取得的区域的原始图像数据进行缺陷检查。