[发明专利]可辐射固化显影的聚胺酯以及含其的辐射可固化显影的光阻组成物

摘要

本发明公开了一种可辐射固化显影的聚胺酯，及含此聚胺酯的辐射可固化显影的光阻组成物，该聚胺酯由主链具有羧酸基且具有侧链丙烯酰基，且由下述重复单元(I)、(II)及(III)以无规排列所构成：R为C_1－12直链或分支亚烷基、C_3－8环状亚烷基、亚苯基、亚联苯基、亚萘基、亚二甲苯基、亚甲苯胺基、－Ph－A－Ph－基(其中A为CH₂、－NH－或－O－)，R’为二价脂族基，其上又可具有一或多个OH取代基，且R”为具有一或多个OH取代基之直链或分支链之C_1－6烷基，该聚胺酯以凝胶渗透层析所测定的重量平均分子量在3,000～400,000之间；酸值为5～120mgKOH/g。

主权项

1、 一种可辐射固化显影的聚胺酯，其特征在于：其主链具有羧酸基且具有侧链丙烯酰基，且由下述重复单元(I)、(II)及(III)以无规排列所构成：其中：R为C_1-12直链或分支亚烷基、C_3-8环状亚烷基、亚苯基、亚联苯基、亚萘基、亚二甲苯基、亚甲苯胺基、-Ph-A-Ph-基，其中A为CH₂、-NH-或-O-，该等基又可视情况经C_1-6烷基取代；R’为二价脂族基，其上又可具有一或多个OH取代基，该OH取代基又可视情况进而与二异氰酸酯反应；且R”为具有一或多个OH取代基的直链或分支链的C_1-6烷基，该OH取代基又可视情况进而与二异氰酸酯反应，该聚胺酯以凝胶渗透层析所测定的重量平均分子量在3,000～400,000的范围；且酸值为5～120mg KOH/g。