[发明专利]错列垂直梳状驱动器加工方法有效
| 申请号： | 200710090110.1 | 申请日： | 2007-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN101056072A | 公开（公告）日： | 2007-10-17 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·H.·莫法特;约翰·M.·米勒 | 申请（专利权）人： | JDS尤尼弗思公司 |
| 主分类号： | H02N1/00 | 分类号： | H02N1/00;H05K3/02;B81C1/00;B81B5/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郑小粤 |
| 地址： | 美国加利福尼亚州*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种对横向对准公差要求较宽松的错列垂直梳状驱动器执行器的加工方法。首先使用自对准双层掩模从正面蚀刻晶片的器件层，以确定移动和固定梳齿的交叉齿爪。第二次蚀刻步骤是有选择地去除两组齿爪之一的顶部，以此对其进行垂直方向的减薄。此时将晶片的正面与一承载晶片结合。之后再从器件层背面对晶片进行有选择的蚀刻，以去除第二组齿爪的下部，从而形成齿爪具备纵向偏移且相互交叉的移动和固定梳齿。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 驱动器 加工 方法 | ||
【主权项】：
1一种加工错列垂直梳状驱动器的方法，包括以下步骤：a)提供一个包含一个器件层的晶片；b)对所述器件层进行蚀刻，在其上生成2个梳状结构，所述梳状结构包括相互交叉的第一组齿爪与第二组齿爪；c)通过蚀刻方法去除所述第一组齿爪的每个齿爪顶部，在垂直方向上缩短第一组齿爪；以及d)通过从所述晶片背面蚀刻的方法去除所述第二组齿爪的每个齿爪下部，在垂直方向上缩短所述第二组齿爪，形成与所述第一组齿爪存在垂向偏移的所述第二组齿爪。
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