[发明专利]检查装置

摘要

本发明的目的在于提供能够延长设置台的更换期间，抑制制造费用成本的上升，提高作业性，用于检查光学装置的检查装置。其包括设置光学装置(44)的光学装置设置部(55)，在光学装置设置部(55)中，设置定位孔(57A、57B)，该定位孔(57A、57B)与设置于光学装置(44)侧的定位销(491、492)嵌合，在该定位孔(57A、57B)的周缘部(57A1、57B1)，设置保护该周缘部(57A1、57B1)的加强件(58A、58B)。

主权项

1. 一种检查装置，该检查装置用于光学装置，基于导入上述光学装置、从上述光学装置射出的光束，检查上述光学装置，在该光学装置中，多个光调制装置和色合成光学装置形成一体，该多个光调制装置相应于图像信息，调制已射入的光束，该色合成光学装置具有通过上述多个光调制装置调制后的光射入的多个光束入射侧端面，将上述已调制的各光束合成，其特征在于：上述光学装置包括台座，该台座安装于上述色合成光学装置的、与上述多个光束入射侧端面交叉的端面侧；在上述台座，形成有定位用的定位凸部；上述检查装置包括设置台，该设置台具有支持上述光学装置的支持面，将上述光学装置设置于预定位置；在上述设置台，形成有定位凹部，该凹部在设置有上述光学装置的状态下，与上述定位凸部嵌合；在上述支持面的上述定位凹部的周缘部，设置有采用比形成上述定位凸部的材料硬的材料的加强部。