[发明专利]基板处理装置

摘要

本发明公开了一种基板处理装置，具备：设置在输送机构上、用于把持处理液供应喷嘴的把持卡盘，与把持卡盘邻接设置的定位销，设置在多个处理液喷嘴的每一个上、使设置在上述输送机构上的把持卡盘可在与供应管路和用于排出处理液的喷嘴主体连接的块状的喷头的上表面上卡合、脱离的把持用凹部，以及与多个处理液供应喷嘴的把持用凹部邻接地设置的定位用凹部，在把持卡盘由待机保持机构卡合在把持用凹部上时，定位销和定位用凹部嵌合，输送机构因定位销和定位用凹部嵌合而不改变处理液供应喷嘴的姿势地保持规定角度，并且使处理液供应喷嘴移动到被处理基板的中心。

主权项

1.一种基板处理装置，包括：可旋转地保持被处理基板的旋转保持机构，向由上述旋转保持机构保持的上述被处理基板的表面上供应处理液的多个处理液供应喷嘴，将上述各处理液供应喷嘴在上述旋转保持机构一侧的待机位置上以相对于上述旋转保持机构的旋转中心为规定角度的间隔保持成大致扇形的待机保持机构，以及可装卸地把持由上述待机保持机构保持的上述多个处理液供应喷嘴的任意一个、向上述被处理基板中心的上方输送的输送机构；其特征是，还具备：设置在上述输送机构上、用于把持上述处理液供应喷嘴的把持卡盘，与上述把持卡盘邻接设置的定位销，设置在上述多个处理液喷嘴的每一个上、使设置在上述输送机构上的把持卡盘可在与上述供应管路和用于排出处理液的喷嘴主体连接的块状的喷头的上表面上卡合、脱离的把持用凹部，以及与上述多个处理液供应喷嘴的上述把持用凹部邻接地设置的定位用凹部，在上述把持卡盘由上述待机保持机构卡合在把持用凹部上时，上述定位销和上述定位用凹部嵌合，上述输送机构因上述定位销和定位用凹部嵌合而不改变上述处理液供应喷嘴的姿势地保持上述规定角度，并且使上述处理液供应喷嘴移动到上述被处理基板的中心。