[发明专利]应用奈米小球形成二维图案的方法无效
| 申请号： | 200710080267.6 | 申请日： | 2007-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN101246937A | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 郭浩中;唐诗韵;褚宏深;蔡勇 | 申请（专利权）人： | 香港应用科技研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/02;H01S5/00;G02B6/122 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王允方;刘国伟 |
| 地址： | 中国香港新界沙田香港科*** | 国省代码： | 中国香港;81 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种形成二维图案的方法，其包含：在一基板上涂覆多个小球；利用所述小球于所述基板上形成一屏蔽；蚀刻所述基板；及自所述基板移除所述屏蔽。此外，本发明另涉及一种处理一基板表面之方法，其包含：在所述基板表面上涂覆多个小球；在所述小球之间沉积一物质；及移除所述小球以在所述基板表面留下所述沉积之物质。根据本发明所提供的方法，其可提供更快、更简易及低成本之制程。此外，其所制作成之发光装置可具有较佳的光萃取效率及可变的光场图案。 | ||
| 搜索关键词： | 应用 小球 形成 二维 图案 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种形成二维图案的方法，其包含：在一基板上涂覆多个小球；利用所述小球于所述基板上形成一屏蔽；蚀刻所述基板；及自所述基板移除所述屏蔽。
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