[发明专利]制备AR膜的生产线有效
| 申请号： | 200710073630.1 | 申请日： | 2007-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN101270467A | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 许生;徐升东;高文波;谭晓华;曹志刚;郭祖华;谢建军 | 申请（专利权）人： | 深圳豪威真空光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广东国晖律师事务所 | 代理人： | 徐文涛 |
| 地址： | 518000广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种制备AR膜的生产线，设有进出片真空室、过渡真空室、高真空室、镀膜真空室、折返前过渡真空室、折返真空室和设置在真空室内的基片架进、出片传送装置，其中在进出片真空室有进出片旋转门阀，在进出片真空室与过渡真空室之间、高真空室与镀膜室之间分别有高真空插板门阀，在各真空室的法兰上分别开有窄型法兰口；在所有镀膜真空室的进片传送装置与出片传送装置之间有带抽气口的防溅射隔板；在镀膜真空室上有两套柱状磁控溅射源；高真空室内有低温气体吸附冷板；在折返前过渡真空室有膜层质量在线检测仪器；进出片真空室和折返真空室分别连接有初抽真空泵组；高真空室、镀膜真空室、过渡真空室、折返真空室分别配置有分子泵。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 ar 生产线 | ||
【主权项】：
1. 一种制备AR膜的生产线，包括磁控溅射制备AR膜生产线，其中所述生产线包括有上片、卸片百级净化间，进出片真空室、过渡真空室、高真空室、镀膜真空室、折返前过渡真空室、折返真空室和设置在真空室内的基片架进、出片传送装置，传送装置上设有基片架，基片架上固定有基片，其中在进出片真空室设置有进片旋转门阀和出片旋转门阀，在进出片真空室与过渡真空室之间、高真空室与镀膜室之间分别设置有高真空插板门阀，在各真空室的法兰上分别开有窄型法兰口；在所有镀膜真空室的进片传送装置与出片传送装置之间设置带抽气口的防溅射隔板；在镀膜真空室上设置有两套柱状磁控溅射源；高真空室内设置有低温气体吸附冷板；在折返前过渡真空室设置有膜层质量在线检测仪器；进出片真空室和折返真空室分别连接有初抽真空泵组；高真空室、镀膜真空室、过渡真空室、折返真空室分别配置有分子泵。
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