[发明专利]基于可变直径微光纤环的光学微机械加速度传感器及其方法

摘要

本发明公开了一种基于可变直径微光纤环的光学微机械加速度传感器及其方法。它采用微光纤放置成直径可变的环，微光纤是在除去涂敷层以后，通过激光加热拉锥，在标准单模光纤中拉制出一段直径为1～25微米的微光纤。微光纤与标准单模光纤之间通过一个渐变的锥形过渡区相连。微光纤部分放置成可变直径的环，微光纤环交叉处的两根微光纤保持轴向平行，其中一根微光纤固定在传感加速度的可动质量块上，另一根固定在硅基底上。标准单模光纤输入端与宽谱光源连接，输出端与光纤光谱仪连接，利用可变直径的微光纤环作为高灵敏度的传感器件实现对加速度的传感。本发明提高了光学微机械加速度传感器的测量精度和稳定性；增加了动态测量范围。

主权项

1.一种基于可变直径微光纤环的光学微机械加速度传感器，其特征在于具有硅基底(13)，在硅基底上刻有圆形凹槽，圆形凹槽内放置有直径可变的微光纤环(1)，微光纤环两端分别为标准光纤输入端(3)、标准光纤输出端(4)，微光纤环的交叉处为微光纤环耦合区(2)，耦合区中两根交叉的微光纤为轴向平行，微光纤环耦合区上方设有加速度传感装置，加速度传感装置具有可动质量块(9)，可动质量块经弹性微悬臂梁(10)与固定架相连，耦合区两根微光纤中的一根微光纤固定在可动质量块上，另一根微光纤固定在硅基底上。