[发明专利]一种微型三维电场传感器有效
| 申请号： | 200710063882.6 | 申请日： | 2007-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN101246192B | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 夏善红;叶超;陈贤祥;彭春荣;陈绍凤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于传感器技术领域，特别涉及一种电场传感器。为了解决现有的微型电场传感器仅能测量电场三维矢量某一个方向分量的大小的问题，本发明提出一种微型三维电场传感器，该传感器由X向电场测量单元、Y向电场测量单元、Z向电场测量单元以及基底构成，其中X向电场测量单元、Y向电场测量单元、Z向电场测量单元分别用于测量电场矢量的X向、Y向、Z向分量，且所述每个方向的电场测量单元均包括驱动电极、驱动结构、屏蔽电极和感应电极。该传感器采用微加工技术制备，具有体积小、功耗低、易于批量化生产等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 三维 电场 传感器 | ||
【主权项】：
一种微型三维电场传感器，其特征在于，包括：至少一对X向电场测量单元(1)、至少一对Y向电场测量单元(2)、至少一对Z向电场测量单元(3)以及基底(4)，其中，X向电场测量单元(1)、Y向电场测量单元(2)、Z向电场测量单元(3)均位于基底(4)上，并且X向电场测量单元(1)、Y向电场测量单元(2)、Z向电场测量单元(3)分别用于测量电场矢量的X向、Y向、Z向分量；所述每个方向的电场测量单元均包括：驱动电极(5)、驱动结构(6)、屏蔽电极(7)和感应电极(8)，其中，驱动电极(5)固接于基底(4)上，并与外部驱动电路连接；驱动电极(5)与驱动结构(6)相连，驱动结构(6)与屏蔽电极(7)相连；屏蔽电极(7)悬空放置，感应电极(8)固定在基底(4)上；屏蔽电极(7)在驱动结构(6)的驱动下，与感应电极(8)发生相对运动，从而调制外电场，使得感应电极上产生交变的电流，通过测量电流的大小实现外电场测量。
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