[发明专利]检测微小区域宏观应力的X射线衍射装置和方法

摘要

本发明的检测微小区域宏观应力的X射线衍射装置和方法属于测试领域。装置，包括一台X射线衍射仪，配备有旋转检测台。检测步骤：调整旋转检测台上的被检测样品表面与x射线衍射仪衍射圆平台垂直，侧倾转轴设置在衍射圆平面与样品表面的交线上；在显微镜下选应力检测点O；通过旋转角Φ设定应力检测方向；确定侧倾角α；在显微镜下重新观测应力检测点O，调整检测点O与衍射圆中心重合；测量选定的衍射晶面；对点O在不同侧倾角α得到数个2θα数据；计算得到O点微小区域内与侧倾轴AB垂直方向上的宏观应力值。本发明可检测样品的任意指定的微小区域内在任意指定方向上的宏观应力，检测应力变化梯度和应力分布不均匀性。

主权项

1、一种检测微小区域宏观应力的x射线衍射装置，包括一台x射线衍射仪，配备有小于或等于0.1mm的原射线准直管、试样在线观察显微镜和具有能X、Y、Z三轴平移运动的试样承载台以及激光测距装置，其特征在于，在试样承载台上装有旋转检测台；所说的旋转检测台由带有旋转角刻度的圆盘作为放置试样的台面(1)，台面(1)侧面与微调螺栓啮合，能使台面(1)以Z方向为轴转动并标示出旋转角Ф；沿台面(1)的直径设置侧倾转轴(2)，在Z方向上装有半圆形角度尺，角度尺的平面与侧倾转轴(2)垂直且圆心在侧倾转轴(2)上，当台面(1)绕侧倾转轴(2)转动时角度尺标示出侧倾角α。