[发明专利]扩散硅压力传感器的非线性滞回智能补偿方法和智能补偿系统

摘要

本发明为扩散硅压力传感器的非线性滞回智能补偿方法和智能系统。本法引入结构简单、易于实现的滞回逆算子，其输出仅与相邻的先前输入输出极值相关，其曲线与传感器滞回逆曲线极值点变化同步、幅值不同，模糊建模将滞回逆算子的升降段点到点的单值映射到希望的幅值，建立模糊模型，与滞回逆算子构成滞回逆混合模型，适应并补偿传感器的非光滑非线性滞回特性。本法有效地提高了扩散硅压力传感器的测量精度。根据本法构建的智能补偿系统包括扩散硅压力传感器和计算机，计算机含有滤波模块和滞回逆混合补偿模块，补偿模块为上述滞回逆算子和T－S模糊建模，计算机输出对滞回特性进行了非线性补偿后的电信号。便于此类传感器技术的发展和应用。

主权项

1.一种扩散硅压力传感器的非线性滞回智能补偿方法，扩散硅压力传感器输入相同的压力或重量信号x，其输出的电信号H(x)在正程和逆程不同，具有滞回的多值对应特性，其特征在于：引入一个滞回逆算子f(y)，它以传感器的输出H(x)为输入，即y＝H(x)，滞回逆算子在相同的输入下，存在不同的输出，滞回逆算子的输出f[H(x)]与传感器的滞回逆曲线的上升、转折、下降趋势相一致，在极值点同步变化；模糊建模将滞回逆算子曲线的上升和下降段曲线点对点的单值映射到希望的幅值，建立模糊模型；滞回逆算子与模糊模型组成的滞回逆混合模型置于传感器之后，传感器输入信号经过滞回逆混合模型补偿后与输出的关系为单值对应的非线性关系，抵消扩散硅压力传感器的非线性滞回特性。