[发明专利]一种高精度调整工装及其调整方法有效
| 申请号： | 200710047235.6 | 申请日： | 2007-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN101169976A | 公开（公告）日： | 2008-04-30 |
| 发明（设计）人： | 吴荣基;袁志扬;陈慧 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度调整工装及其调整方法，解决了传统工装定位自由度少和定位灵活度差的问题。所述高精度调整工装包括定位座，悬臂，支撑板，直角连接块，竖直定位移动机构和竖直定位调平机构，水平定位移动机构和水平定位调平机构；所述定位座安装在悬臂上端，所述支撑板安装在悬臂下端，所述竖直定位调平机构安装在支撑板上，所述竖直定位移动机构安装在竖直定位调平机构上，所述水平定位移动机构安装在水平定位调平机构上，所述水平定位调平机构和竖直定位移动机构上分别安装在直角连接块的两个平面上。调整竖直定位移动机构、竖直定位调平机构、水平定位移动机构和水平定位调平机构可实现工装五个自由度高精度的定位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 调整 工装 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高精度调整工装，其特征在于：它包括定位座(1)，悬臂(4)，支撑板(6)，直角连接块(15)，竖直定位移动机构和竖直定位调平机构，水平定位移动机构和水平定位调平机构；所述直角连接块(15)具有水平连接面(152)和竖直连接面(151)；所述定位座(1)安装在悬臂(4)上端，所述支撑板(6)安装在悬臂(4)下端，所述竖直定位调平机构安装在支撑板(6)上，所述竖直定位移动机构安装在竖直定位调平机构上，所述水平定位移动机构安装在水平定位调平机构上，所述水平定位调平机构和竖直定位移动机构分别安装在直角连接块15的水平连接面(152)和竖直连接面(151)上。
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