[发明专利]BPSG中硼、磷含量测量的校正方法有效
| 申请号： | 200710042391.3 | 申请日： | 2007-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101329288A | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 肖建军;宋国宁;张士仁;杨洪春 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种硼磷硅玻璃(BPSG)中硼(B)、磷(P)含量测量的校正方法，以对诸如X射线荧光仪(XRF)等BPSG的B、P含量测定仪器进行校正。主要利用湿化学方法测定BPSG中的B、P含量，并与XRF测定的结果进行对比，求出差异数值，通过差异数值调节XRF的准确性，具体步骤包括：用XRF测量BPSG薄膜的硼、磷浓度；将所述BPSG薄膜溶解于蚀刻液，用元素定量分析设备测定其硼、磷浓度；以及利用XRF和元素定量分析设备分别测定的硼、磷浓度形成一用于校正所述XRF的浓度校正曲线。然后利用该浓度校正曲线来校正XRF，或者根据该浓度校正曲线制作XRF标准片来校正XRF。 | ||
| 搜索关键词： | bpsg 含量 测量 校正 方法 | ||
【主权项】：
1.一种BPSG中硼、磷含量测量的校正方法，其特征在于，包括：用XRF测量BPSG薄膜的硼、磷浓度；将所述BPSG薄膜溶解于蚀刻液，用元素定量分析设备测定其硼、磷浓度；利用XRF和元素定量分析设备分别测定的硼、磷浓度，形成一用于校正所述XRF的浓度校正曲线。
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