[发明专利]镁合金表面辉光等离子沉积耐蚀非晶、纳米晶合金层方法无效
| 申请号： | 200710019820.5 | 申请日： | 2007-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN101008078A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 徐江;徐重;陶杰;张平则;刘子利;陈哲源;朱文慧;骆心怡 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C14/38 | 分类号： | C23C14/38;C23C14/54;C23C14/14 |
| 代理公司： | 南京苏高专利事务所 | 代理人： | 阙如生 |
| 地址： | 210016*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种镁合金表面辉光等离子沉积耐蚀非晶、纳米晶合金层方法，适用于镁合金表面制备耐蚀改性层制备，属于先进轻合金表面耐蚀防护技术领域。其特征在于：采用由靶材电极与工件电极组成的双阴极结构辉光溅射装置及方法，其中靶材：熔点在600－1800℃的纯金属或其合金材料，靶材电压：300－650V，工件电压：300－450V，靶材与工件间距：30－40mm，气压(Ar气)：20－45Pa。该方法生成的沉积层具有优越的耐腐蚀性能。 | ||
| 搜索关键词： | 镁合金 表面 辉光 等离子 沉积 耐蚀非晶 纳米 合金 方法 | ||
【主权项】：
1、一种镁合金表面辉光等离子沉积耐蚀非晶、纳米晶合金层方法，其特征在于：采用由靶材电极与工件电极组成的双阴极结构辉光溅射装置及方法，其中靶材：熔点在600-1800℃的纯金属或其合金材料，靶材电压：300-650V，工件电压：300-450V，靶材与工件间距：30-40mm，气压(Ar气)：20-45Pa。
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