[发明专利]光掩模衬底容器单元、光掩模衬底运输及曝光方法无效
| 申请号： | 200710008399.8 | 申请日： | 2007-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN101013270A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 佐野道明 | 申请（专利权）人： | HOYA株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B65D85/30;B65D81/02;B65D85/48;B65D6/02;B65D77/26;B65G49/05;B65G49/07;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/027;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 根据本发明的光掩模衬底容器单元用于运输和/或存储光掩模衬底，并包括：壳体，所述壳体用于在其内容纳所述光掩模衬底；和保持部件，所述保持部件以预定倾斜角度的倾斜姿势保持所述光掩模衬底。相较于适于垂直保持光掩模衬底的纵向类型光掩模衬底容器单元，所述光掩模衬底容器单元可以在高度上减小。由此，根据本发明的光掩模衬底容器单元不仅可以便于光掩模衬底容器单元的运输/存储，而且也可以克服运输方法受到限制的缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 光掩模 衬底 容器 单元 运输 曝光 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于运输和/或存储光掩模衬底的光掩模衬底容器单元，所述光掩模衬底容器单元包括：保持部件，所述保持部件以预定倾斜角度的倾斜姿势保持所述光掩模衬底；和壳体，所述壳体用于在其内容纳所述光掩模衬底。
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