[发明专利]切削装置有效
| 申请号： | 200710006296.8 | 申请日： | 2007-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN101015899A | 公开（公告）日： | 2007-08-15 |
| 发明（设计）人： | 中生俊彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪斯科 |
| 主分类号： | B23Q11/10 | 分类号： | B23Q11/10;B28D7/00;B28D5/02;H01L21/301 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种切削装置，具有可以根据切削刀片的位置调节外周缘用喷嘴的位置的外周缘用喷嘴机构。上述切削装置具备保持被加工物的卡盘台、具有对卡盘台上所保持的被加工物进行切削的切削刀片的切削机构、及向着切削刀片的外周缘喷射切削水的外周缘用喷嘴机构，其特征在于，外周缘用喷嘴机构具备：切削水供给管，沿着切削刀片的轴向设置；喷嘴保持部件，沿轴向可滑动地安装在切削水供给管上；外周缘用喷嘴，安装在喷嘴保持部件上并向切削刀片的外周缘喷射切削水；以及喷嘴位置调节机构，在切削刀片的轴向对喷嘴保持部件进行移动调节。 | ||
| 搜索关键词： | 切削 装置 | ||
【主权项】：
1.一种切削装置，具备保持被加工物的卡盘台、具有对该卡盘台上所保持的被加工物进行切削的切削刀片的切削机构、及向着该切削刀片的外周缘喷射切削水的外周缘用喷嘴机构，其特征在于，该外周缘用喷嘴机构具备：切削水供给管，沿着该切削刀片的轴向设置；喷嘴保持部件，沿轴向可滑动地安装在该切削水供给管上；外周缘用喷嘴，安装在该喷嘴保持部件上并向该切削刀片的外周缘喷射切削水；以及喷嘴位置调节机构，在该切削刀片的轴向对该喷嘴保持部件进行移动调节。
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