[发明专利]非晶质硬质碳被膜有效
申请号: | 200680048148.6 | 申请日: | 2006-11-28 |
公开(公告)号: | CN101341274A | 公开(公告)日: | 2009-01-07 |
发明(设计)人: | 诸贯正树;松井崇;内海庆春;大原久典 | 申请(专利权)人: | 株式会社理研;日本I·T·F株式会社 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;F16C33/10;F16C33/12 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 陈建全 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种几乎不含有氢、实际上只包含碳的、与基质材料密合性优良的,高硬度且耐磨损性也优良的非晶质硬质碳被膜。所述非晶质硬质碳被膜由以下构成,即,在基质材料表面上形成的实际上只包含碳的第1非晶质硬碳层,和在第1非晶质硬质碳层表面上形成的实际上只包含碳的第2非晶质硬质碳层;从断面观看时,第1非晶质硬质碳层的透射型电子显微镜像比第2非晶质硬质碳层的透射型电子显微镜像明亮。 | ||
搜索关键词: | 非晶质 硬质 碳被膜 | ||
【主权项】:
1.一种非晶质硬质碳被膜,其特征在于,由在基质材料表面上形成的实际上只包含碳的第1非晶质硬质碳层、和在该第1非晶质硬质碳层的表面上形成的实际上只包含碳的第2非晶质硬质碳层构成;从断面观看时,所述第1非晶质硬质碳层的透射型电子显微镜像比所述第2非晶质硬质碳层的透射型电子显微镜像明亮。
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