[发明专利]确定表面特性的装置和方法

摘要

把来自光源(4)的光沿样本路径(SP)定向到样本表面(7)的区域，并沿参考路径(RP)定向到参考表面(6)，使得由样本表面区域所反射的光以及由参考表面所反射的光进行干涉。移动器(11)实现沿样本表面(7)与参考表面(6)之间的扫描路径的相对移动。检测器(10)每隔一段时间感测光强度，以便提供表示样本表面的区域所产生的干涉条纹的一系列强度值。数据处理器(32)接收包含产生于对衬底的表面面积的测量操作的第一系列强度值的第一强度数据以及至少包含产生于对薄膜结构的表面面积的测量操作的第二系列强度值的第二强度数据。数据处理器(32)具有：增益确定器(100)，确定薄膜结构的所述薄膜或各薄膜的增益；以及表面特性确定器(101)，根据第一强度数据来确定衬底表面特性，根据第二强度数据来确定视在薄膜结构表面特性，并使用衬底表面特性和增益确定器所确定的增益或多个增益来修改视在薄膜结构表面特性。

主权项

1.一种用于确定与样本的表面特性相关的信息的装置，所述样本采取在衬底上包括一个或多个薄膜层的薄膜结构的形式，所述装置包括：光源；光定向器，可操作以便把来自光源的光沿样本路径定向到所述样本的表面区域，并沿参考路径定向到参考表面，使得由样本表面区域所反射的光以及由所述参考表面所反射的光进行干涉；移动器，可操作以实现沿样本与所述参考表面之间的测量路径的相对移动；感测装置，可操作以便感测表示样本表面区域所产生的干涉条纹的光；控制器，可操作以便通过使所述感测装置在沿所述测量路径的多个位置上感测光强度，以便为各位置提供对应强度值，来执行测量操作；以及数据处理器，可操作以接收第一强度数据和第二强度数据，其中第一强度数据包含产生于对衬底的表面面积的测量操作的第一系列强度值，以及第二强度数据至少包含产生于对薄膜结构的表面面积的测量操作的第二系列强度值，所述数据处理器包括：增益确定器，可操作以确定薄膜结构的薄膜或各薄膜的增益；以及表面特性确定器，可操作以便根据所述第一强度数据来确定衬底表面特性，根据所述第二强度数据来确定视在薄膜结构表面特性，并使用所述衬底表面特性和所述增益确定器所确定的增益或多个增益来修改所述视在薄膜结构表面特性。