[发明专利]平台机构

摘要

本发明提供一种平台机构，其可防止因平台机构的线性导轨的热膨胀而影响平稳驱动。本发明的平台机构(1)包括：至少一个台(4，5)；于直线方向上引导此台的一对台用线性导轨(11，12，21，22)；以及补偿因台的热膨胀导致位移的补偿用线性导轨(13，23)。一侧的台用线性导轨(11，12，21，22)固定于支持部与台，另一侧的台用线性导轨(11，21)通过补偿用线性导轨(13，14，15，23)在与上述直线方向正交的方向上自由移动。或者是，通过补偿用线性导轨(13，23)，对支持部使另一侧的台用线性导轨在与上述直线方向正交的方向上自由移动。

主权项

1.一种平台机构，包括：至少一个台；一对台用线性导轨，在直线方向上引导上述台；支持部，支持上述一对台用线性导轨；以及补偿用线性导轨，此补偿用线性导轨将上述一对台用线性导轨中的一个，相对于上述支持部以及上述台，以不可移动于与上述直线方向正交的方向的状态进行固定，对于上述一对台用线性导轨中的另一个，使上述台在与上述直线方向正交的方向上自由移动，以补偿台的位移。