[发明专利]氧化镁单晶蒸镀材料及其制造方法

摘要

本发明提供一种单晶MgO蒸镀材料，其作为一种靶材使用，该靶材用于使用以电子束蒸镀法为首的真空蒸镀法在基板上形成MgO膜。该蒸镀材料不降低蒸镀时的成膜速度，可防止产生飞溅，并且可提高优异的膜特性，例如作为PDP用保护膜使用时的放电特性等。蒸镀材料由氧化镁单晶形成，将所述蒸镀材料的最大投影面的等效圆直径设为D(m)、将与所述最大投影面垂直的方向的厚度设为t(m)、将蒸镀材料的体积设为V(m³)时，D/t为4以上，t为0.4×10^－3m以上，V为5×10^－9m³以上，并且，所述最大投影面的总面积的90％以上是由(100)面、(110)面及(111)面中的至少一种构成。

主权项

1.一种氧化镁单晶蒸镀材料，其特征在于，蒸镀材料由氧化镁单晶形成，将所述蒸镀材料的最大投影面的等效圆直径设为D(m)、将与所述最大投影面垂直的方向的厚度设为t(m)、将蒸镀材料的体积设为V(m3)时，D/t为4以上，t为0.4×10-3m以上，V为5×10-9m3以上，并且，所述最大投影面的总面积的90％以上是由(100)面、(110)面及(111)面中的至少一种构成。