[发明专利]晶片移动控制宏指令

摘要

一种用于创建一组晶片转移指令的计算机实现方法，用于在具有多个晶片保持位置的等离子粒团工具中在起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间移动晶片。该方法包括接收第一用户提供位置指示和第二用户提供位置指示，该方法以图形方式识别分别在等离子粒团工具的屏幕图形表示上的起始晶片保持位置和目的晶片保持位置。该方法进一步包括确定与第一用户提供位置指示和第二用户提供位置指示之间的路径相关的数据。该方法进一步包括响应于与路径相关的数据形成该组晶片转移指令。该组晶片转移指令被配置用于为沿着与路径相关的晶片保持位置转移晶片。

主权项

1.一种用于创建一组晶片转移指令的计算机实现方法，用于在等离子粒团工具中在起始晶片保持位置和目的晶片保持位置之间转移晶片，所述等离子粒团工具具有多个晶片保持位置，所述计算机实现方法包括：接收第一用户提供位置指示，所述第一用户提供位置指示以图形方式识别在所述等离子粒团工具的屏幕图形表示上的所述起始晶片保持位置；接收第二用户提供位置指示，所述第二用户提供位置指示以图形方式识别在所述等离子粒团工具的屏幕图形表示上的所述目的晶片保持位置；确定与所述第一用户提供位置指示和所述第二用户提供位置指示之间的路径相关的数据；以及响应于与所述路径相关的数据形成该组晶片转移指令，该组晶片转移指令被配置为沿着与所述路径相关的晶片保持位置转移所述晶片。