[发明专利]通过四氯硅烷的热氢化反应制备三氯硅烷的方法有效
申请号: | 200680003231.1 | 申请日: | 2006-01-26 |
公开(公告)号: | CN101107197A | 公开(公告)日: | 2008-01-16 |
发明(设计)人: | N·加西亚-阿隆索;C·吕丁格;H-J·埃贝勒 | 申请(专利权)人: | 瓦克化学股份公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 程大军 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种方法,其中含四氯化硅的反应物气体和含氢气的反应物气体在700-1500℃的温度下反应,从而形成含三氯硅烷的产物混合物。本发明方法的特征在于,根据等式1,产物混合物在反应物气体于热交换器中的停留时间τ[ms]内冷却到温度Tcooling,其中A=4000,6≤B≤50,100℃≤TCooling≤900℃,并且经由热交换器除去的产物气体的能量用于加热反应物气体。 | ||
搜索关键词: | 通过 硅烷 氢化 反应 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种使含四氯化硅的反应物气体和含氢气的反应物气体在700-1500℃的温度下反应以形成含三氯硅烷的产物混合物的方法,其特征在于,产物混合物通过热交换器冷却,该产物混合物在反应物气体于热交换器中的停留时间τ[ms]内冷却到温度Tcooling,
其中A=4000,6≤B≤50,100℃≤TCooling≤900℃,,并且经由热交换器除去的产物气体的能量用于加热反应物气体。
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