[实用新型]盘状磁性靶材PTF的测试装置无效

专利信息
申请号: 200620134206.4 申请日: 2006-10-30
公开(公告)号: CN200979591Y 公开(公告)日: 2007-11-21
发明(设计)人: 廖赞;郭力山;杨亚卓;王彬;杨永刚;孙秀霞 申请(专利权)人: 北京有色金属研究总院;有研亿金新材料股份有限公司
主分类号: G01R33/12 分类号: G01R33/12;G01R33/00
代理公司: 北京北新智诚知识产权代理有限公司 代理人: 胡福恒
地址: 10008*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种盘状磁性靶材PTF的测试装置,它包括靶台、马蹄形永磁铁、霍尔探针;马蹄形永磁铁设置靶台下部,霍尔探针设置在靶台上部,所述的靶台下中部一体连接有靶台支柱,其特点是,在靶台的上表面中部设有定位凹孔,在该凹孔内插有校准套。所述的校准套呈圆盘状、三层、倒台阶状、一体连接,上层是一个圆压盘,中层是一个圆定位盘,下层是一个凸柱,该凸柱插入定位凹孔内。在所述的靶台上一侧还设置有两个定位轴承。本实用新型的优点是:调节方便,可以简单快捷的测试直径、厚度在一定范围内的盘状磁性靶材的PTF,可用于实验过程及成品的PTF指标检验。
搜索关键词: 磁性 ptf 测试 装置
【主权项】:
1、一种盘状磁性靶材PTF的测试装置,它包括靶台、马蹄形永磁铁、霍尔探针;马蹄形永磁铁设置靶台下部,霍尔探针设置在靶台上部,其特征在于:所述的靶台下中部一体连接有靶台支柱,在靶台的上表面中部设有定位凹孔,在该凹孔内插有校准套。
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