[实用新型]反应室压力检测装置无效
| 申请号： | 200620126593.7 | 申请日： | 2006-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN200989839Y | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | 周世峰 | 申请（专利权）人： | 和舰科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/00 | 分类号： | G01L19/00;G01L19/06;H01L21/66 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈忠辉;姚姣阳 |
| 地址： | 215025江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种反应室压力检测装置，包括弯管、压力计、接头、连接管，连接管、接头、弯管、压力计以串联形式竖直安装在反应室的下方，在反应室的真空管路上装有调压阀，机台CPU的信号线与压力计和调压阀相连，其特点是压力计与接头之间设有连接弯管，弯管数量为1～4根，每根通常呈90°弯角。运行时，气态原材料经调节阀均匀导入到反应室参加反应，压力计将检测到的压力信号反馈给CPU，由CPU适时控制调压阀，从而实现反应室气体压力的控制及监测。该设计可有效避免固体生成物或其它固体颗粒直接进入压力计，充分保证压力计的精度不受影响，延长压力计的使用寿命，并可消除压力计读值偏移所产生的工艺变异风险。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 压力 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.反应室压力检测装置，包括压力计、接头及连接管，连接管、接头、压力计以串联方式竖直安装在反应室的下方，在反应室的真空管路上装有调压阀，机台CPU的信号线与压力计和调压阀相连，其特征在于：在压力计与接头之间设置有连接弯管。
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