[实用新型]多轴式载具无效
申请号: | 200620123128.8 | 申请日: | 2006-08-09 |
公开(公告)号: | CN200947432Y | 公开(公告)日: | 2007-09-12 |
发明(设计)人: | 谢正寿 | 申请(专利权)人: | 钛升科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型是有关于一种多轴式载具,主要是在一基座后端装设一驱动装置,前端装设数支臂相对于该基座中板上的参考点两侧对称排列,另在该基座中装设一组传动装置,该传动装置且以其传动组连接于该驱动装置的传动轴与该些支臂间,借此,使其可以由该些支臂分别提供一取置构件装设其上,用以同时对多个物件进行撷取/释放作业,且该载具尚可透过该驱动装置经由该传动装置同时带动相对于纵向中心线两侧的支臂相向或相反方向移动,使该些支臂间之间距具有调整功能。 | ||
搜索关键词: | 多轴式载具 | ||
【主权项】:
1、一种多轴式载具,其特征在于其包括:一基座,包括一第一侧板、一第二侧板与第一侧板相对间隔设置,以及一中板设于该第一、第二侧板之间,该中板包括一参考点以及一纵向中心线垂直通过该参考点;一驱动装置,包括一伺服马达以及一传动轴机能性设于该伺服马达的动力输出端,该驱动装置装设于该基座后端,该传动轴末端伸向该中板,枢接于该参考点;数支臂,纵向设置于该基座前端,且至少一横杆组设于该基座上,相对于该纵向中心线两侧呈对称排列状,并可沿该横杆横移;以及一传动装置,装设于该基座中,其包括至少一传动组,该传动组包括一传动齿轮设于该传动轴上,以及二具有齿条部的传动件分设于该传动齿轮上下端,且以其齿条部分别与该传动齿轮相啮合,该二传动件分别机能性连接该纵向中心线两侧对称位置的二支臂。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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