[实用新型]智能化光学薄膜全自动监控系统无效
| 申请号： | 200620113727.1 | 申请日： | 2006-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN2911757Y | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 贾秋平;张喆民;卢维强 | 申请（专利权）人： | 北京奥博泰科技有限公司;贾秋平;张喆民 |
| 主分类号： | G05D5/03 | 分类号： | G05D5/03;C23C14/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100070北京市丰台科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种智能化光学薄膜全自动监控系统，包括：光源发射系统、聚光镜、小孔光阑、监控片、反射镜、光谱仪和晶控仪，监控片设置在真空室内，光源发射系统引出两路光信号，一路直接导入一单色仪，另一路依次通过聚光镜、小孔光阑和反射镜后入射到真空室内，并在监控片上形成光斑，由一光接收系统接收后，再分别导入单色仪和宽光谱仪。本实用新型把单波长光学监控法、晶控法、宽光谱光学监控法的监控装置复合在一起，协调工作，在镀膜的过程中实时地提供薄膜的多方位信息，实时地修正后续膜层参数及制备条件，用于实时地、全自动地修正膜层误差的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 智能化 光学薄膜 全自动 监控 系统 | ||
【主权项】：
1、一种智能化光学薄膜全自动监控系统，其特征在于，包括：光源发射系统、聚光镜、小孔光阑、反射镜、监控片、光谱仪和晶控仪，监控片设置在真空室内，所述光源发射系统引出两路光信号，一路直接导入一单色仪，另一路依次通过所述聚光镜、小孔光阑和反射镜后入射到所述真空室内，并在所述监控片上形成光斑，由一光接收系统接收后，再分别导入所述单色仪和宽光谱仪；由所述单色仪出来的光经过一A/D模数采集卡转换后，由一单片机进行初步处理，并通过一网络交换系统传输到一设置有数据处理软件的PC机上；所述晶控仪将几何厚度、沉积速率等信息通过所述网络交换系统传输到所述PC机上；所述宽光谱仪接收的信号传给所述PC机。
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