[发明专利]显示器件及其制造方法有效
申请号: | 200610156731.0 | 申请日: | 2006-12-28 |
公开(公告)号: | CN1991545A | 公开(公告)日: | 2007-07-04 |
发明(设计)人: | 木村肇 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
主分类号: | G02F1/136 | 分类号: | G02F1/136;G02F1/1362;G02F1/133;G02F1/1333;G03F7/20;H01L21/027;G09F9/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 张浩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在半透射液晶显示器件中,需要两个抗蚀剂掩模来形成反射性电极和透明电极;因此成本很高。将用作像素电极的透明电极和反射性电极层叠起来。通过使用包括半透射部分的曝光掩模,在反射性电极上形成抗蚀剂图案,其中所述抗蚀剂图案包括具有厚膜厚度的区域、和膜厚度比所述具有厚膜厚度的区域薄的区域。通过使用该抗蚀剂图案,蚀刻反射性导电膜和透明导电膜。因此可以通过使用一个抗蚀剂掩模形成反射性电极和透明电极。 | ||
搜索关键词: | 显示 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种显示器件,包括:晶体管;电连接到所述晶体管的透明电极;电连接到所述透明电极的反射性电极;以及电连接到所述晶体管的存储电容器,其中,所述存储电容器的至少一部分形成在所述反射性电极的下面;并且其中,所述反射性电极的整个下表面与所述透明电极的顶表面相接触。
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