[发明专利]涂布装置有效
| 申请号： | 200610143525.6 | 申请日： | 2006-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN1963670A | 公开（公告）日： | 2007-05-16 |
| 发明（设计）人： | 原田光治;内河喜代司 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁香兰;赵冬梅 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种涂布装置，该涂布装置抑制颜料分散型抗蚀剂的颜料成分凝聚。本发明所提供的涂布装置为将颜料分散型抗蚀剂液涂布于被处理基板上的涂布装置，该涂布装置具有：喷嘴，该喷嘴用于吐出颜料分散型抗蚀剂液；用于供给颜料分散型抗蚀剂液的涂布液供给部；以及将由所述涂布液供给部供给的颜料分散型抗蚀剂液导向喷嘴的配管，该配管由导电管构成。由于本发明的涂布装置具有上述结构，因而即使颜料分散型抗蚀剂液通过导电管内，也可以抑制颜料成分的凝聚。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种涂布装置，其是将涂布液涂布于被处理基板上的涂布装置，该涂布装置的特征在于，其具有：喷嘴，该喷嘴具有用于吐出上述涂布液的吐出口；用于供给上述涂布液的涂布液供给部；以及将由上述涂布液供给部供给的上述涂布液导向上述喷嘴的配管，该配管由导电构件构成。
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