[发明专利]Littrow干涉仪无效
| 申请号： | 200610109511.2 | 申请日： | 2006-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN1987341A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 威廉·R·小图特纳;杰阿英特·欧文;艾伦·B·雷;詹姆斯·普林斯;埃里克·斯蒂芬·约翰斯通;朱淼;来纳德·S·卡特勒 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王怡 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了用于测量位移的一种装置和方法，包括将光束导向干涉仪核心，所述干涉仪核心将光束分为第一成分光束和第二成分光束。第一成分光束大致以Littrow角导向衍射光栅。衍射光由干涉仪核心接收并与第二成分光束合并。对合并的第一成分光束和第二成分光束进行测量以确定衍射光栅的位移。 | ||
| 搜索关键词： | littrow 干涉仪 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量位移的装置，包括：导向干涉仪核心的光束，所述干涉仪核心适于将所述光束分为第一成分光束和第二成分光束，其中，所述第一成分光束大致以Littrow角导向衍射光栅，然后由所述干涉仪接收，并与所述第二成分光束合并，所述合并的第一成分光束和第二成分光束被导向检测器，所述检测器适于对所述合并的第一成分光束和第二成分光束进行测量以确定所述衍射光栅的位移。
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