[发明专利]使用非牛顿流体运输衬底的方法和装置无效
| 申请号： | 200610106083.8 | 申请日： | 2006-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN1880200A | 公开（公告）日： | 2006-12-20 |
| 发明（设计）人： | J·M·德拉里奥斯;M·拉夫金;J·帕克斯;M·科罗利克;F·C·雷德克尔 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究有限公司 |
| 主分类号： | B65G51/01 | 分类号： | B65G51/01;H01L21/677 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘华联 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了用于运输衬底的方法。在该方法中，提供非牛顿流体以及衬底在非牛顿流体中悬浮。非牛顿流体能支撑衬底。此后，向非牛顿流体施加足够的力以使得非牛顿流体流动，从而该流沿着流的方向移动衬底。也描述了使用非牛顿流体运输衬底的装置和系统。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 牛顿 流体 运输 衬底 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种装置，包括：具有导管形的空腔的腔室，该导管设置为输送非牛顿流体，从而在导管中运输衬底。
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