[发明专利]一种老化炉料件载具的传递装置无效
申请号: | 200610099167.3 | 申请日: | 2006-07-31 |
公开(公告)号: | CN101118259A | 公开(公告)日: | 2008-02-06 |
发明(设计)人: | 黄金福 | 申请(专利权)人: | 威光机械工程股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/677;H01L21/66;H01L21/00 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 鲁兵 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种老化炉料件载具的传递装置,包含在一老化炉内摆放复数用来容置电子料件的载具,且老化炉的入口端或/及出口端的内侧设有一能定格转动的转台,并于老化炉内部与转台之间设有一后置撷取器,并在转台与老化炉的入口端或/及出口端之间设有一前置撷取器,使载具能通过转台、后置及前置撷取器传递于老化炉的内部与入口端或出口端之间,据以提升老化炉的自动化处理能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 老化 炉料 件载具 传递 装置 | ||
【主权项】:
1.一种老化炉料件载具的传递装置,其特征在于,包含有:一老化炉,内部摆放复数用来容置电子料件的载具;一能定格转动并承放及移载复数载具的转台,设于老化炉的入口端或/及出口端的内侧;一后置撷取器,设于转台与老化炉内部的复数载具之间,以移载转台上的载具至老化炉内,或者移载老化炉内的载具至转台上;一前置撷取器,设于所述转台与老化炉的入口端或/及出口端之间,以移载老化炉的入口端或出口端的载具至转台上,或者移载转台上的载具至老化炉的入口端或出口端。
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