[发明专利]改变晶圆在制品制程流的方法有效
| 申请号： | 200610083026.2 | 申请日： | 2006-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN101082815A | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | 林志聪;徐诗凯 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/02 | 分类号： | G05B19/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种改变晶圆在制品制程流的方法。设定欲触发一制程流更换操作的一第一机台，其中该第一机台是设置于一第一制程流。在上述机台设定一预约切换操作。接收一切换制程流的命令。判断一晶圆在制品为正在执行或正在等候的状态。若上述晶圆在制品为正在等候的状态，则直接将上述该晶圆在制品自上述第一制程流的第一机台更换到一第二制程流的一第二机台。若上述晶圆在制品为正在执行的状态，则触发上述预约切换操作，并且根据上述预约切换操作将上述晶圆在制品自上述第一制程流的上述第一机台更换到上述第二制程流的上述第二机台。本发明使得晶圆在制品可任意由一制程流更换至另一制程流的对应机台。 | ||
| 搜索关键词： | 改变 制品 制程流 方法 | ||
【主权项】：
1.一种改变晶圆在制品的制程流的方法，其特征在于，该改变晶圆在制品的制程流的方法包括下列步骤：于一第一制程流的一第一机台的结束点设定一制程流更换操作的触发点；在上述机台设定一预约切换操作；接收一切换制程流的命令；判断一晶圆在制品为正在执行或正在等候的状态；若上述晶圆在制品为正在等候的状态，则直接将上述该晶圆在制品自上述第一制程流的第一机台更换到一第二制程流的一第二机台；若上述晶圆在制品为正在执行的状态，则触发上述预约切换操作；以及根据上述预约切换操作将上述晶圆在制品自上述第一制程流的上述第一机台更换到上述第二制程流的上述第二机台。
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