[发明专利]空气干燥机的空气干燥装置

摘要

本发明是关于一种空气干燥机的空气干燥装置，本发明是使用加压/泄压循环装置，以使装满干燥剂的第一管体于加压，产生一段时间的干燥空气后，可使干燥空气输出供晶圆厂放置晶圆的密闭柜使用，泄压以使连通二装满干燥剂的管体的阀于关闭先前加压第二管体内部空间，再打开另一装满干燥剂的第二管体进行加压，并可使干燥空气输出供晶圆厂放置晶圆的密闭柜使用，当泄压的空间经单向阀的旁通路变成与第一管体内部空间压力相等，当第二管体内部空间于泄压后，再使第一管体加压，经由第一、第二管体不断交替使用，可以将干燥空气不断输送至放置晶圆的密闭柜而使用，可达到零件少与成本低的目的。

主权项

1.一种空气干燥机的空气干燥装置，空气干燥机具有一过滤器、进气开关，与过滤器连接设排水管，空气干燥机设有流量表与压力计，于空气干燥机所设的仪表板上可显示相关的读数，干燥空气可再经一过滤器再输入于放置晶圆的密闭柜；其特征在于：加压/泄压循环装置，其中具有一组并列的第一、第二管体，第一、第二管体内部的下、上侧分别设有过滤件，位于一组相对的过滤件间设有多数的干燥剂；三通阀，设置于第一、第二管体下侧，三通阀设有一进气管与三通阀内部相通，三通阀内设信道分别可与第一、第二管体相通；相对于进气管的信道附近设置一钢珠，信道两侧并位于钢珠侧边设有密封圈与内部具孔的螺丝；阀座，设于第一、第二管体上侧，其内部具有与第一、第二管体相通的信道，并设有一输气管；分别有一中空的单向阀，其上侧与阀座固设，单向阀下侧设置过滤件，于单向阀侧边设置旁通路。