[发明专利]检查方法及采用该检查方法的液晶显示装置的制造方法

摘要

本发明提供定量测量图案的接缝精度，并可提高图案接缝精度的检查方法及采用该检查方法的液晶显示装置的制造方法。本发明的、在通过将衬底分多个区域后分别曝光来形成预定图案时，检查不同曝光造成的图案的接缝精度的检查方法，包括以下步骤：测量在多个区域中的第一区域与第二区域重叠的重叠区域中，有关第一区域的曝光的第一图案要素和与第一图案要素大致平行配置的有关第一区域的曝光的第二图案要素的第一距离的步骤；测量在重叠区域中，与有关第二区域的曝光的第一图案要素缝合的第三图案要素和第二图案要素的第二距离的步骤；以及求第一距离和第二距离的差值并将接缝精度定量化并测量的步骤。

主权项

1.一种检查方法，在通过将衬底分多个区域后分别曝光来形成预定图案时，检查不同曝光造成的图案的接缝精度，包括以下步骤：测量在所述多个区域中的第一区域与第二区域重叠的重叠区域中，有关所述第一区域的曝光的第一图案要素和与所述第一图案要素大致平行配置的有关所述第一区域的曝光的第二图案要素的第一距离的步骤；测量在所述重叠区域中，与有关所述第二区域的曝光的所述第一图案要素缝合的第三图案要素和所述第二图案要素的第二距离的步骤；以及求所述第一距离和所述第二距离的差值并将接缝精度定量化并测量的步骤。