[发明专利]流体喷射装置及其制作方法无效
| 申请号： | 200610077356.0 | 申请日： | 2006-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN101062612A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 庄文宾;周忠诚 | 申请（专利权）人： | 明基电通股份有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/16;B41J2/05 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种流体喷射装置及其制作方法。在具体实例中，在具有凹槽的第一衬底上形成蚀刻停止层，接着再将该蚀刻停止层接合于第二衬底表面上，以在该蚀刻停止层与该第二衬底间形成腔室，然后，移除该第一衬底。移除该第一衬底后，在该第二衬底上形成外框以构成该流体喷射装置。其中，还可在该腔室内及该蚀刻停止层上形成第一氧化层、第二氧化层以及第三氧化层结构。藉此流体喷射装置可增加绝热及降低热串扰(Thermal Crosstalk)效应，进而提升其热使用率及喷墨效果。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 喷射 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种流体喷射装置的制作方法，包括：提供具有凹槽的第一衬底；在该凹槽与该第一衬底表面保形地形成蚀刻停止层；将第二衬底接合于该蚀刻停止层上，使得该第二衬底与该蚀刻停止层之间的该凹槽之中形成腔室；以及去除该第一衬底。
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