[发明专利]一种真空镀膜方法及该方法所使用的转动装置无效
| 申请号： | 200610037526.2 | 申请日： | 2006-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN1912173A | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | 朱德祥 | 申请（专利权）人： | 番禺得意精密电子工业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511458广东省广州市番禺南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空镀膜方法所使用的转动装置，所述转动装置包括一飞轮、一转动轴及一容置基材的载物装置，该飞轮通过所述转动轴与载物装置连接在一起。与现有技术相比，本发明真空镀膜方法及该方法所使用的转动装置，由于是在驱动转动装置转动时带动基材转动，再停止驱动，接着将容置基材的转动装置放入真空镀膜机内，再对基材进行镀膜，这样基材在转动的过程中不是靠驱动转动装置转动，而是靠转动装置自身的惯性转动，使基材在完全不受驱动干扰的真空环境下均匀镀膜，可以有效的避免镀膜不均匀等问题，有利于基材与其它电子组件之间的电性连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 方法 使用 转动 装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜方法，其特征在于，包括如下步骤：提供一可容置基材的转动装置；驱动转动装置转动，并带动基材；停止驱动，此时转动装置仍保持转动；将容置基材的转动装置放入真空镀膜机内；对转动装置内的基材进行真空镀膜。
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