[发明专利]探针卡装置有效
申请号: | 200610028785.9 | 申请日: | 2006-07-10 |
公开(公告)号: | CN101105504A | 公开(公告)日: | 2008-01-16 |
发明(设计)人: | 刘云海;简维廷;张荣哲 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01R1/02 | 分类号: | G01R1/02;G01R1/067;G01R1/073;G01R31/00;H01L21/66 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 逯长明 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 公开了一种芯片测试系统中的探针卡装置,该探针卡装置由转接板和通用探针卡组成,既满足了探针台对探针卡的安装要求,又满足了测试仪对探针卡的连接要求,在无需购买新的芯片测试系统,也无需更改测试仪与探针台硬件的情况下,通过更换新的探针卡装置就利用原有设备实现了新的测试功能,有效地节约了成本,且安装方便,通用性强。 | ||
搜索关键词: | 探针 装置 | ||
【主权项】:
1.一种芯片测试系统,所述芯片测试系统包括测试仪和探针台,所述探针台具有能够安装专用探针卡的卡槽,其特征在于:所述系统还包括探针卡装置,所述装置包括转接板和通用探针卡,所述通用探针卡设置于所述转接板上;所述转接板安装于所述探针台的卡槽中;所述通用探针卡通过电缆与所述测试仪连接。
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