[发明专利]集成电路及其制造方法有效
申请号: | 200610001233.9 | 申请日: | 2006-01-10 |
公开(公告)号: | CN1822388A | 公开(公告)日: | 2006-08-23 |
发明(设计)人: | 杨海宁;朱慧珑 | 申请(专利权)人: | 国际商业机器公司 |
主分类号: | H01L29/772 | 分类号: | H01L29/772;H01L27/092;H01L21/335;H01L21/8238 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 | 代理人: | 于静;李峥 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明提供了一种集成电路及其制造方法,其中所述集成电路包括具有沟道区和邻近所述沟道区的源极和漏极区的场效应晶体管(FET)。提供位于所述沟道区下面的具有第一类型应力的第一应力区,其中所述第一类型应力为压缩型或拉伸型。提供位于所述源极和漏极区下面的具有第二类型应力的第二应力区,其中所述第二类型应力为与所述第一类型应力相反的压缩型或拉伸型中的一种。 | ||
搜索关键词: | 集成电路 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种集成电路,包括:场效应晶体管(FET),具有沟道区和邻近所述沟道区的源极和漏极区;第一应力区,具有第一类型应力,位于所述沟道区下面,所述第一类型应力为压缩型或拉伸型;以及第二应力区,具有第二类型应力,位于所述源极和漏极区下面,所述第二类型应力为与所述第一类型应力相反的压缩型或拉伸型中的一种。
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