[发明专利]通过电容技术感测间隙变化无效
| 申请号： | 200580032893.7 | 申请日： | 2005-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN101199050A | 公开（公告）日： | 2008-06-11 |
| 发明（设计）人： | 威廉·D·达伦巴赫;迪夫亚西姆哈·哈里什 | 申请（专利权）人： | 北极星传感器公司 |
| 主分类号： | H01L23/34 | 分类号： | H01L23/34 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种通过电容技术来感测间隙变化。在一个实施例中，装置包括第一导电表面和基本上平行于该第一导电表面的第二导电表面、以及基于第一导电表面与第二导电表面之间的间距变化而产生测量值的传感器。该间距变化可以由第一导电表面相对于第二导电表面的偏移而引起，并且该偏移可以是压缩力和/或膨胀力。传感器可以应用将电容变化转换成电压变化和/或频率变化中的至少一种的算法，以产生测量值。该间距变化可以由相对于第二导电表面施加于第一导电表面上方的表面的载荷而引起。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 电容 技术 间隙 变化 | ||
【主权项】：
1.一种装置，包括：第一导电表面和第二导电表面，所述第二导电表面基本上平行于所述第一导电表面；以及传感器，用于基于所述第一导电表面与所述第二导电表面之间的间距变化而产生测量值。
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