[发明专利]图案形成材料、以及图案形成装置和图案形成方法无效
| 申请号： | 200580029857.5 | 申请日： | 2005-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN101010636A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 高岛正伸;芹泽慎一郎 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于，提供在层合工序中抑制在基体上产生褶皱、产生静电且可以形成高精细图案的图案形成材料，以及具备该图案形成材料的图案形成装置，和使用了前述图案形成材料的图案形成方法。因此，提供图案形成材料、以及具备该图案形成材料的图案形成装置和使用该图案形成材料进行曝光的图案形成方法，所述图案形成材料的特征在于：在支撑体上按如下顺序至少具有感光层和保护膜，该保护膜中存在的面积为2000μm2以上且距离膜表面的高度为1～7μm的鱼眼的个数为50～1000个/m2。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 材料 以及 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成材料，其特征在于：在支撑体上按如下顺序至少具有感光层和保护膜，该保护膜中存在的面积为2000μm2以上且距离膜表面的最大高度为1～7μm的鱼眼的个数为50～1000个/m2。
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