[发明专利]利用带电粒子束研究或修改表面的装置和方法有效
| 申请号： | 200580019455.7 | 申请日： | 2005-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN1969364A | 公开（公告）日： | 2007-05-23 |
| 发明（设计）人： | 克劳斯·埃丁格;约瑟夫·塞尔迈尔;托尔斯滕·霍夫曼 | 申请（专利权）人： | 纳沃技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨生平;杨红梅 |
| 地址： | 德国罗*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 提供一种利用带电粒子对样品进行研究和/或修改的装置，具体为扫描电子显微镜。所述装置包括带电粒子束(1，2)、具有用于使带电粒子束穿过的开孔(30)的屏蔽元件(10)，其中所述开孔(30)足够小且所述屏蔽元件(10)被设置成足够靠近样品的表面(20)，以减小表面处电荷累积效应对带电粒子束的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 带电 粒子束 研究 修改 表面 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.利用带电粒子对样品进行研究和/或修改的装置，具体是扫描电子显微镜，包括：a.带电粒子束(1，2)；b.屏蔽元件(10)，具有用于使所述带电粒子束(1，2)穿过的开孔(30)；c.其中所述开孔(30)足够小且其中将所述屏蔽元件设置成足够靠近所述样品的所述表面(20)，以减小在所述表面处的电荷累积效应对所述带电粒子束(1，2)的影响。
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