[发明专利]偏光变换元件、光学照明装置、曝光装置以及曝光方法有效
| 申请号： | 200580003186.5 | 申请日： | 2005-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN1914525A | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | 谷津修;重松幸二;广田弘之;松山知行 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件10变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域10A～10D，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。 | ||
| 搜索关键词： | 偏光 变换 元件 光学 照明 装置 曝光 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种偏光变换元件，将入射光的偏光状态变换成一所定的偏光状态，其特征在于其包括：利用有旋光性的光学材料所形成，有在周方向变化的一厚度分布。
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