[实用新型]对称布置的真空获得系统无效
| 申请号： | 200520142023.2 | 申请日： | 2005-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN2851276Y | 公开（公告）日： | 2006-12-27 |
| 发明（设计）人： | 刘宏立;樊菁;舒勇华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院力学研究所 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种对称布置的真空获得系统，包括真空腔体，在所述真空腔体外侧相对于所述真空腔体水平截面的几何中心线对称设置有若干个真空泵接口。由于本实用新型真空泵设置于底法兰盘的边缘或真空腔体侧壁，因此真空泵的安装不影响电子枪及其它部件的安装和布置，而且真空泵接口的对称布置或周向均匀布置保证了真空腔体内流场的对称分布，这种对称流场使电子枪蒸发的气体粒子在其上方的基片表面上沉积更加均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 对称 布置 真空 获得 系统 | ||
【主权项】：
1、一种对称布置的真空获得系统，包括真空腔体，其特征在于：在所述真空腔体外侧相对于所述真空腔体水平截面的几何中心线对称设置有若干个真空泵接口。
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