[发明专利]精密加工设备和精密加工方法无效
| 申请号： | 200510097404.8 | 申请日： | 2005-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN1797256A | 公开（公告）日： | 2006-07-05 |
| 发明（设计）人： | 神谷纯生;岩濑久雄;永池哲也;江田弘;周立波 | 申请（专利权）人： | 丰田自动车株式会社 |
| 主分类号： | G05D3/00 | 分类号： | G05D3/00;H01L21/00;B24B51/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 马江立;秘凤华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种精密加工设备和一种精密加工方法，其能够根据磨削阶段通过运动量和逐步改变的恒压在例如用于使磨轮旋转的装置上执行切换控制以精确地进行磨削。致动器(5)和至少由进给螺杆(41)和螺母(42)构成的进给螺杆机构(4)附装在第二基座(3)上，该第二基座(3)支承用于使磨轮(b)旋转的旋转装置(6b)。在粗磨阶段，可通过螺母(42)的预定运动量来调节旋转装置(6b)和第二基座(3)的运动。在超精密磨削阶段，可通过逐步使用压力性能不同的多个气动致动器(5a，5b)的压力控制来调节旋转装置(6b)和第二基座(3)的运动。姿势控制器(7)设置在第一基座(2)和旋转装置(6a)之间，以使待磨削的物体a旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 加工 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种精密加工设备，包括：用于旋转待磨削的物体的旋转装置；支承该旋转装置的第一基座；用于旋转磨轮的旋转装置；支承该用于旋转磨轮的旋转装置的第二基座；以及设置在第一基座和/或第二基座处的运动调节装置，该运动调节装置能够使其中一个基座朝另一个基座运动，其中，该运动调节装置包括物理地使基座运动的第一运动调节部和向基座施加压力以使基座沿运动方向滑动的第二运动调节部，并且其中，可通过选择性地使用第一运动调节部和第二运动调节部来控制基座和旋转装置的运动量。
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