[发明专利]光致抗蚀剂树脂组合物无效
| 申请号： | 200510071268.5 | 申请日： | 2005-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN1693991A | 公开（公告）日： | 2005-11-09 |
| 发明（设计）人： | 金奉玘;柳盛文;朴圣模;朴赞硕 | 申请（专利权）人： | 东进世美肯株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/16;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁香兰 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及光致抗蚀剂树脂组合物，特别是涉及含有以下物质的光致抗蚀剂树脂组合物：a)具有2个氨基甲酸酯键的丙烯酸酯单体，b)具有至少2个乙烯型双键的氨基甲酸酯系列的交联性单体，c)碱可溶性化合物，d)光聚合引发剂和e)溶剂；还涉及利用所述光致抗蚀剂树脂的感光性干膜抗蚀剂。本发明所述的光致抗蚀剂树脂组合物和利用该光致抗蚀剂树脂组合物的感光性干膜抗蚀剂，其与基材的胶粘性和耐喷砂性优异，同时还具有高分辨率和高感光度，从而可以在基材上形成精细的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1、光致抗蚀剂树脂组合物，其含有：a)1重量％～30重量％具有2个氨基甲酸酯键的丙烯酸酯单体；b)10重量％～60重量％具有至少2个乙烯型双键的氨基甲酸酯系列的交联性单体；c)5重量％～15重量％碱可溶性化合物；d)0.5重量％～10重量％光聚合引发剂；以及e)余量的溶剂。
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