[发明专利]图案形状物及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200510069086.4 申请日: 2005-05-10
公开(公告)号: CN1697588A 公开(公告)日: 2005-11-16
发明(设计)人: 大仓秀章;佐野武;小林宽史 申请(专利权)人: 株式会社理光
主分类号: H05K1/00 分类号: H05K1/00;H05K3/00
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人: 钟晶
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明公开了一种图案形状物及其制造方法。该图案形状物包括由粒子聚集体构成的图案,用于支撑图案的支撑元件,和在图案与支撑元件边界处形成的混合层。混合层由粒子和支撑元件的混合物构成。在混合层以外的部分内的粒子尺寸大于混合层内的粒子尺寸。
搜索关键词: 图案 形状 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种图案形状物,其包括由粒子聚集体构成的图案和支撑该图案的支撑元件,其特征在于,还包括混合层,该层中粒子和支撑元件在粒子聚集体和支撑元件的边界处混合,其进一步的特征在于,除混合层之外的部分的粒子尺寸大于混合层内的粒子尺寸。
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