[发明专利]大批量和小批量电子设备制造装置的集成方法及其装置无效
| 申请号： | 200410095460.3 | 申请日： | 2004-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN1636846A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 阿米特·皮里;大卫·达芬;艾瑞克·安德鲁·恩格尔哈特 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;H01L21/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 郭思宇 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及大批量和小批量电子设备制造装置的集成方法及其装置。在至少一个方面中，本发明提供了一种电子设备制造装置(Fab)，该装置使用能透明集成到使用大批量载具的现有Fab中的小批量载具。制造执行系统(MES)可以与本发明的小批量Fab相互作用就好象小批量Fab是现有大批量Fab中的任何其他组件，而不需要知道如何控制小批量Fab组件(例如，指定处理清单)。根据本发明的小批量Fab可以封装小批量组件的小批量Fab的内部用途，并且该小批量Fab对于大批量Fab的MES来说，就象小批量Fab是使用大批量载具的一个组件。 | ||
| 搜索关键词： | 大批量 批量 电子设备 制造 装置 集成 方法 及其 | ||
【主权项】：
1.一种系统，包括至少一个大批量载具运输系统，用于将大批量载具发送到至少一个大批量工具；以及至少一个合成工具，用于从大批量载具运输系统接收大批量载具，其中合成工具包括：至少一个将基底从大批量载具转移到小批量载具的机构；至少一个小批量载具运输系统，用于将小批量载具发送到至少一个小批量工具。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料有限公司，未经应用材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410095460.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：流体混合装置及切削装置
- 下一篇：具有改进连接机构的可植入束带
