[发明专利]支撑架无效
| 申请号： | 200410086159.6 | 申请日： | 2004-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN1763634A | 公开（公告）日： | 2006-04-26 |
| 发明（设计）人： | 陈茂森;王宏祺;郭宗铭 | 申请（专利权）人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 魏晓刚;李晓舒 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种支撑架，其包括有至少一个设置于曝光机的光源产生器与主机工作机台之间的H型钢(H－beam)用以支撑曝光机的光轴传输管路，至少一个设于H型钢的第一部位的支撑组件，一设于该H型钢的第二部位的信号发射器，以及一设于该H型钢的第三部位的信号接收器，用来检测光轴偏移的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑架 | ||
【主权项】：
1.一种支撑架，该支撑架包括有：至少一个H型钢，用以支撑位于曝光设备的主机工作机台与附属机台之间的光轴传输管路；至少一个支撑组件，设于该H型钢的第一部位；一信号发射器，设于该H型钢的第二部位；以及一信号接收器，设于该H型钢的第三部位。
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