[发明专利]一种扫描探针显微镜探针驱动装置无效
| 申请号： | 200410070003.9 | 申请日： | 2004-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN1588558A | 公开（公告）日： | 2005-03-02 |
| 发明（设计）人： | 白雪冬;梁学锦;陈东敏;王恩哥;薛其坤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G12B21/22 | 分类号： | G12B21/22;G12B21/20 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描探针显微镜的探针驱动装置，包括固定槽、夹紧套层、滑块、剪切晶体和压电陶瓷管，滑块通过固定在其外表面相对两侧的两对剪切晶体设置在夹紧套层内，与矩形套层夹紧并可沿其内壁滑动，夹紧套层通过固定在其外壁相对两侧的两对剪切晶体设置在固定槽内，与固定槽夹紧并可沿与所述滑块上剪切晶体驱动方向垂直的方向横向滑动，压电陶瓷管与滑块轴向固定，与滑块连接的压电陶瓷管负责探针纵向移动，与探针连接的压电陶瓷管负责三维方向上位置的细调。该装置可在非常有限的小空间内实现扫描探针显微镜的探针(或样品)位置在三维方向上大范围地高精度调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 探针 显微镜 驱动 装置 | ||
【主权项】：
1、一种扫描探针显微镜探针驱动装置，其特征在于，包括固定槽、夹紧套层、滑块、剪切晶体和压电陶瓷管，滑块通过固定在其外表面相对两侧的两对剪切晶体设置在夹紧套层内，与矩形套层夹紧并可沿其内壁滑动，夹紧套层通过固定在其外壁相对两侧的两对剪切晶体设置在固定槽内，与固定槽夹紧并可沿与所述滑块上剪切晶体驱动方向垂直的方向横向滑动，压电陶瓷管与滑块轴向固定，与滑块连接的压电陶瓷管负责纵向移动，另一压电陶瓷管负责三维方向位置的细调。
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