[实用新型]具有自动识别功能的有机发光镀膜机基片小挡板无效
| 申请号： | 03212295.0 | 申请日： | 2003-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN2615145Y | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 侯晶莹;刘立宁;赵毅;李传南;高文宝;谢文法;刘式墉 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张景林 |
| 地址： | 130023吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型具体涉及一种安装于有机发光镀膜机基片架前的具有自动识别功能的小挡板。基片小挡板由安装在托板上的两个半圆形能够开合并与基片架同步公转的平板构成的基片小挡板(37)、磁力传动机械手(31)、推拉控制板(38)、传感器(44)和位置探测器(45)及自动识别电路构成。半圆形小挡板(37)与推拉控制板(38)一同安装在托板(12)上，托板(12)安装在行星式旋转基片架(8)的公转轴(13)上，位于基片(7)及大挡板(6)之间，与行星式旋转基片架(8)同步转动。小挡板可以很方便地对相应基片的镀膜条件进行控制，从而实现在一个实验周期内作出多个试样的目的，从而有效地提高有机镀膜的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 自动识别 功能 有机 发光 镀膜 机基片小 挡板 | ||
【主权项】：
1、具有自动识别功能的有机发光镀膜机基片小挡板，其特征在于：①由两个半圆形的基片小挡板(37)、推拉控制板(38)、磁力传动机械手(31)、自动识别装置组成；②半圆形小档板(37)与推拉控制板(38)一同安装在托板(12)上，小档板位于基片(7)孔位下方，托板(12)安装在行星式旋转基片架(8)的公转轴(13)上，位于基片(7)及大档板(6)之间，与行星式旋转基片架(8)同步转动；③每个半圆形小档板(37)用定轴(34)和动轴(35)分别固定在托板(12)和推拉控制板(38)上；④磁力传动机械手(31)安装在真空室的固定位置，通过推拉控制板(38)实现两个半圆形小档板的开合；⑤自动识别装置由传感器、位置探测器和自动识别电路构成，传感器(44)安装在行星式旋转基片架(8)的上面，位置对应于某一个基片，与基片数目相同的位置探测器(45)安装在真空室法兰盘顶盖(33)的外面，与传感器同圆周且对称分布，其中的一个位置探测器与磁力传动机械手(31)的磁力连杆(32)同一径向。
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